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- 型號1
本公司的旋轉陰極端頭可以安裝在任何鍍膜生產線上或者替代現有的陰極端頭。 安裝在新系統上 可以單獨銷售陰極端頭,陰極端頭維護備件和整套旋轉陰極系統,包含驅動及相關功能—即裝即用。 替換現有的陰極端頭 適用于任何長度的系統 不需要對陰極蓋板進行任何改造 可利用現有設施,完美匹配阿登納鍍膜線,萊寶鍍膜線和國產的各種鍍膜線 不需要更換電源,布氣系統或者陽極 適用于現有的靶材設計
本公司的旋轉陰極端頭可以安裝在任何鍍膜生產線上或者替代現有的陰極端頭。
安裝在新系統上
? 可以單獨銷售陰極端頭,陰極端頭維護備件和整套旋轉陰極系統,包含驅動及相關功能—即裝即用。
替換現有的陰極端頭
? 適用于任何長度的系統
? 不需要對陰極蓋板進行任何改造
? 可利用現有設施,完美匹配阿登納鍍膜線,萊寶鍍膜線和國產的各種鍍膜線
? 不需要更換電源,布氣系統或者陽極
? 適用于現有的靶材設計
本陰極的特性
? 靶筒用卡環方式固定,安裝快捷方便不會卡死
? 穩定持久的真空密封:可確保陰極在高功率高電流的情況下維持真空度的穩定,每對端頭在出廠前都經過嚴格的抽真空測試,漏率小于1×10-10mbar l/s。陰極水密封耐壓高達125 psi,使用壽命長,可達5,000,000轉 , 確保在連續一年的使用期內密封無失效。
? 嚴格的品質保證:我們的端頭采用高精度數控設備加工,具有很高的制造精度和裝配精度。所有的密封件、軸承件和導電絕緣組件全部進口,具有更長的使用壽命和穩定性。
? 標準陰極蓋板安裝方式,適用于現在國內外幾乎所有的大面積磁控濺射鍍膜線
? 適用于各種靶材設計,可以安裝噴涂靶,幫定靶和澆鑄靶
? 先進的靶筒排水特性,通過吹水幾乎可以將靶筒內的水完全排干
? 最大化的膜層沉積速率:最大操作功率可以達到120KW,最大工作電流可達到400A(30KHz時)
- 上一條Low-E生產線升級改造
- 下一條旋轉陰極
