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旋轉陰極 -
旋轉陰極
- 型號SK001
升級平面陰極到旋轉陰極 在不增加真空室的情況下，提高現有鍍膜生產線的產能和質量。 減少因靶材打弧放電造成的工藝不穩定和工件污染。 提高靶材利用率，節省靶材成本。
升級平面陰極到旋轉陰極
? 在不增加真空室的情況下，提高現有鍍膜生產線的產能和質量。
? 減少因靶材打弧放電造成的工藝不穩定和工件污染。
? 提高靶材利用率，節省靶材成本。
本陰極的優點
? 高可靠性
? 最簡便的安裝或改造
? 可實現快速換靶
? 可以允許較大的靶材長度誤差
? 超低的維護成本
? 可適用于任何靶材供應商的靶材
? 無感應發熱導致的不良影響
? 水流管道經過防腐處理，可以防止微流腐蝕
